半导体材料细分领域—电子特气 电子特气是半导体制造中用于掺杂、刻蚀、沉积、清洗等核心工艺的高纯度特种气体，是决定芯片性能、良率的关键基础材料之一，被誉为半导体制造的"血液"。这些气体的纯度要求极高，多数需达到"5个9"（99.999%）以上，部分先进制程甚至需要"7个9"（99.99999 金宏 半导体材料 三氟化氮 四氯化硅 三氯氢硅 2025-08-29 02:54 3
